ASTM E834-04
凝縮器チューブを使用して真空チャンバーのガス環境を測定するための標準的な方法

規格番号

ASTM E834-04

制定年

2004

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM E834-09

最新版

ASTM E834-21

範囲

真空チャンバー内にテスト項目がない場合（ベークアウト操作中など）にこの手順を適用すると、同じチャンバーまたは他のチャンバーからの他のデータと関連して真空チャンバーの性能を評価するために使用できます。 重要なパラメーター (たとえば、暴露の長さ、チャンバーとコールドフィンガーの温度、異方性など) が関連する可能性があることを考慮します。 この手順は、真空チャンバー内に置かれた品目に対する残留物に含まれる物質の影響を評価するために使用できます。 この手順は、真空チャンバー内の残留ガスに対する事前のテストの影響を説明するために使用できます。 冷却剤をコールドフィンガーに導入する時間を選択することにより、テストの選択された部分中に存在する環境を特徴付けることができます。 これは、ベークアウトなどの特定の真空チャンバー手順の相対的な有効性を判断するために使用できます。 この手順は、冷たい指に凝縮するテスト項目のガス放出生成物を定義するために使用できます。 この手順は、真空チャンバーの相対的な清浄度を定義する際に使用できます。 この手順の結果を一般に真空チャンバーに適用する場合、チャンバー内の分子束の異方性を考慮する必要があります。 この手順は、凝縮物を形成するガスの分圧と、冷却剤温度にコールドフィンガーがさらされる時間の両方の影響を受けます。 この手順は、さまざまな移送操作中、および蒸気浴で加熱して溶媒を蒸発させる手順中に発生する可能性のあるサンプルの損失に敏感です。 注 18212;溶媒と凝縮液の間の反応が発生する可能性があり、分析に影響を与える可能性があります。 1.1 この実践では、真空チャンバーの残留ガス環境の一部である材料のサンプルを収集する手法を取り上げます。 この実習では、「コールド フィンガー」と呼ばれる装置を使用します。 この装置は、サンプリングされる環境内に配置され、環境の成分がコールド フィンガーの表面に保持されるように冷却されます。 1.2 この実習では、サンプルを採取する方法が取り上げられます。 1.3 この実践には、サンプルを構成する成分を特定するためにサンプルを分析する方法に関する推奨事項が含まれています。 1.4 サンプルを構成する種を決定することにより、この実践は、成分の供給源を定義し、そのサンプルが真空チャンバー自体から同様に得られたサンプルの一般的な代表であるかどうかを定義するのに役立ちます。 1.5 この実践は、実践を適用できる代替アプローチと使用法をカバーします。 1.6 程度1.7 コールドフィンガーの温度は、収集される材料の量と種類に大きな影響を与えます。 この規格は、この手順で決定される特性が真空チャンバー環境一般に起因すると考えられる保証に大きく影響します。 この規格は、それに対処することを目的としていません。 その使用に関連する安全上の懸念がある場合には、そのすべてに注意してください。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。 特定の警告文については、セクションを参照してください。

ASTM E834-04 発売履歴

• 2021 ASTM E834-21 コールドフィンガーを使用して真空チャンバーのガス環境を判断するための標準的な方法
• 2009 ASTM E834-09(2015) コールドヘッドを使用して真空チャンバーのガス環境を測定するための標準的な方法
• 2009 ASTM E834-09 凝縮器チューブを使用して真空チャンバーのガス環境を測定するための標準的な方法
• 2004 ASTM E834-04 凝縮器チューブを使用して真空チャンバーのガス環境を測定するための標準的な方法
• 1981 ASTM E834-81(1998) 凝縮器チューブを使用して真空チャンバーのガス環境を測定するための標準的な方法