ASTM E834-81(1998)
凝縮器チューブを使用して真空チャンバーのガス環境を測定するための標準的な方法

規格番号

ASTM E834-81(1998)

制定年

1981

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM E834-04

最新版

ASTM E834-21

範囲

1.1 この実践では、真空チャンバーの残留ガス環境の一部である物質のサンプルを収集する技術を取り上げます。 この実践では、サンプリングされる環境内に配置され、環境の成分がコールドフィンガーの表面に保持されるように冷却される「コールドフィンガー」と呼ばれる装置が使用されます。 1.2 実習では、コールドフィンガーからサンプルを採取し、コールドフィンガーから除去された物質の重量を測定する方法を取り上げます。 1.3 この実践には、サンプルを構成する成分を特定するためにサンプルを分析する方法に関する推奨事項が含まれています。 1.4 サンプルを構成する種を決定することにより、この手法は、成分の供給源と、サンプルが真空チャンバー自体から同様に得られたサンプルを一般的に代表するものであるかどうかを定義するのに役立ちます。 1.5 この実践では、実践に適用できる代替アプローチと使用法を取り上げます。 1.6 分子束の異方性の程度は、この手順によって決定される特性が一般に真空チャンバー環境によるものであるかどうかの保証に大きく影響します。 1.7 冷たい指の温度は、収集される物質の量と種類に大きな影響を与えます。 1.8 この規格には、危険な物質、作業、および機器が含まれる場合があります。 この規格は、その使用に関連するすべての安全上の問題に対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。 具体的な注意事項については、セクション 8 を参照してください。

ASTM E834-81(1998) 発売履歴

• 2021 ASTM E834-21 コールドフィンガーを使用して真空チャンバーのガス環境を判断するための標準的な方法
• 2009 ASTM E834-09(2015) コールドヘッドを使用して真空チャンバーのガス環境を測定するための標準的な方法
• 2009 ASTM E834-09 凝縮器チューブを使用して真空チャンバーのガス環境を測定するための標準的な方法
• 2004 ASTM E834-04 凝縮器チューブを使用して真空チャンバーのガス環境を測定するための標準的な方法
• 1981 ASTM E834-81(1998) 凝縮器チューブを使用して真空チャンバーのガス環境を測定するための標準的な方法