1.1 この実践では、オージェ電子分光計および一部のタイプの X 線光電子分光計で検出信号に寄与する試料領域を、電子エネルギー分析装置の電子収集レンズと絞りシステムによって定義される場合に決定する方法について説明します。
この実践は、入射 X 線ビームによって励起された試料領域が分析装置によって観察される試料領域よりも大きく、光電子が試料からフィールドのない領域を移動する X 線光電子分光計にのみ適用できます。
1.2 この方法は、分光計のさまざまな条件で分析装置によって観察される試料領域を決定するための有用な手段として推奨されます。
この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合でも、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。
適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
ASTM E1217-05 発売履歴
2019ASTM E1217-11(2019) オージェ電子分光計および一部の X 線光電子分光計で検出される信号のサンプル領域を決定するための標準的な手法