ASTM E1217-00 X線光電子分光計とオージェ電子分光計を使用した、検出信号に影響を与えるサンプル面積の決定の標準的な手法規格と仕様

範囲: 1.1 この実践では、X 線光電子分光法 (XPS) およびオージェ電子分光法 (AES) で検出信号に寄与する試料領域を、電子収集レンズ/絞りシステムによって定義される場合に決定する方法について説明します。これは、分光計のさまざまな動作条件で観察される試料領域を決定し、適切な試料の位置合わせを検証し、電子エネルギー分析装置のイメージング特性を特徴付けるための有用な手段として推奨されます。 1.2 この実践は、X 線または電子ビームによって励起される試料領域が分析装置で観察される試料領域よりも大きくできる、または大きくできる分光計のみを対象としています。通常の動作条件下では、分析装置で観察される試料領域全体にわたって均一な強度を持つと考えられる X 線または電子のビームによって試料が励起され、試料は全領域にわたって均質かつ均一であると想定されます。観察されたエリア。 1.3 この規格は、その使用に関連する安全上の問題がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

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