ASTM F104-00 シリコンウェーハの浅いエッチピット検査の標準的な手法規格と仕様

範囲: 1.1 この分類システムは、市販の非金属ガスケット材料の関連特性を指定または説明するための手段を提供します。アスベスト、コルク、セルロース、その他の有機または無機材料と、さまざまな結合剤または含浸剤を組み合わせた材料が含まれます。通常ゴム化合物として分類される材料は、分類 D2000 でカバーされているため、含まれません。ガスケットコーティングについては、その詳細が設計図面または別の仕様書に記載されることを意図しているため、対象外となります。 1.2 ガスケットの性能に寄与するすべての特性が含まれていないため、材料を選択するための基準としての分類システムの使用は限定的です。 1.3 SI 単位で記載されている値は標準とみなします。括弧内の値は情報提供のみを目的としています。 1.4 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

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