ASTM F1152-93(2001)
シリコンウェーハの溝寸法の標準試験方法
- 規格番号
- ASTM F1152-93(2001)
- 制定年
- 1993
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 状態
- に置き換えられる
- ASTM F1152-02
- 最新版
- ASTM F1152-02
- 範囲
- 1.1 このテスト方法は、シリコン ウェーハ上の基準ノッチの寸法が指定された制限内にあるかどうかを判断するための非破壊手順を対象としています。 1.2 SI 単位で記載された値は標準とみなします。 括弧内の値は情報提供のみを目的としています。 1.3 この規格は、その使用に関連する安全上の問題がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
ASTM F1152-93(2001) 規範的参照
- ASTM E122 サンプルサイズを計算して、指定された許容誤差を持つ標準実践バッチまたはプロセス特性の平均値を推定します*， 2000-10-10 更新するには
ASTM F1152-93(2001) 発売履歴
- 1970 ASTM F1152-02
- 1993 ASTM F1152-93(2001) シリコンウェーハの溝寸法の標準試験方法
- 1993 ASTM F1152-93 シリコンウェーハの溝寸法の標準試験方法
