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- ASTM F1152-02
- 規格番号
- ASTM F1152-02
- 制定年
- 1970
- 出版団体
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- 最新版
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ASTM F1152-02
- 範囲
- 1.1 このテスト方法は、シリコン ウェーハ上の基準ノッチの寸法が指定された制限内にあるかどうかを判断するための非破壊手順を対象としています。
1.2 SI 単位で記載された値は標準とみなします。
括弧内の値は情報提供のみを目的としています。
1.3 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。
適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
ASTM F1152-02 発売履歴