ASTM F397-93(1999)
点プローブを使用してシリコンロッドの抵抗率を測定する標準的な試験方法
- 規格番号
- ASTM F397-93(1999)
- 制定年
- 1993
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 状態
- に置き換えられる
- ASTM F397-02
- 最新版
- ASTM F397-02
- 範囲
- １．１ この試験方法は、面積が均一で正方形、長方形、または円形の断面を有し、０．０００９〜３０００Ωドットｃｍの抵抗率を有する単結晶棒の抵抗率の測定を対象とする。 シリコン結晶の抵抗率は重要な受け入れ要件です。 1.2 この試験方法は、面積を正確に計算できるほど結晶断面が均一である n 型または p 型のシリコン単結晶での使用を目的としています。 試験片の断面積は、結晶軸に沿った測定によって決定される平均面積の +1% 以内で一定でなければなりません (12.2 を参照)。 1.3 試験片の断面の最大寸法に対する長さの比率は 3:1 以上であってはなりません (12.1 を参照)。 ラウンドロビンでテストされた最大直径は 3.75 cm (1.5 インチ) で、これはこの方法で測定できる最大直径です。 試験片は、通常、０．４μｍ（１６μインチ）ｒｍｓ以下の表面仕上げを有するものとする（ＡＮＳＩ Ｂ４６を参照）。 相互に許容できる場合は、他の表面仕上げを使用することもできます。 ただし、このテストの複数の検査機関の精度の数値 (16.1 を参照) は適用されなくなる可能性があります。 1.4 この規格は、その使用に関連する安全上の問題がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。 具体的な危険性に関する記述はセクション 9 に記載されています。
ASTM F397-93(1999) 規範的参照
- ASTM D1193 試薬水 (連邦試験法 No. 7916)*， 1999-04-09 更新するには
- ASTM E1 ASTM 温度計の標準仕様*， 1998-04-09 更新するには
- ASTM F42 サッカー用保護ヘルメットの衝撃吸収性の標準試験方法
ASTM F397-93(1999) 発売履歴
- 1970 ASTM F397-02
- 1993 ASTM F397-93(1999) 点プローブを使用してシリコンロッドの抵抗率を測定する標準的な試験方法
