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- ASTM F397-02
- 規格番号
- ASTM F397-02
- 制定年
- 1970
- 出版団体
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- 最新版
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ASTM F397-02
- 範囲
- 1.1 この試験方法 2 は、面積が均一で、形状が正方形、長方形、または円形で、抵抗率が 0.0009 ~ 3000 V・cm の単結晶棒の抵抗率の測定を対象としています。
シリコン結晶の抵抗率は重要な受け入れ要件です。
1.2 この試験方法は、面積を正確に計算できるほど結晶断面が均一である、または p 型のシリコン単結晶での使用を目的としています。
試験片の断面積は、結晶軸に沿った測定によって決定される平均面積の 61% 以内で一定でなければなりません (12.2 を参照)。
1.3 試験片の断面の最大寸法に対する長さの比率は 3:1 以上であってはなりません (12.1 を参照)。
ラウンドロビンでテストされた最大直径は 3.75 cm (1.5 インチ) で、これはこの方法で測定できる最大直径です。
試験片の表面仕上げは通常、0.4 µm (16 µin.) rms 以下でなければなりません (ANSI B46 を参照)。
相互に許容できる場合は、他の表面仕上げを使用することもできます。
ただし、このテストの複数の検査機関の精度の数値 (16.1 を参照) は適用されなくなる可能性があります。
1.4 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。
適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
具体的な危険性に関する記述はセクション 9 に記載されています。
ASTM F397-02 規範的参照
- ASTM C28 漆喰標準仕様*, 1980-04-10 更新するには
- ASTM C31/C31M 現場でコンクリート試験片を作成および養生するための標準的な方法*, 2024-01-01 更新するには
- ASTM C35 石膏石膏用無機骨材の標準仕様*, 1995-04-10 更新するには
- ASTM D5127 電子・半導体産業用超純水の規格ガイド*, 1999-04-10 更新するには
- ASTM E1 ASTM 温度計の標準仕様*, 1998-04-10 更新するには
- ASTM F42 サッカー用保護ヘルメットの衝撃吸収性の標準試験方法*, 1993-04-10 更新するには
ASTM F397-02 発売履歴