ASTM E1162-06
二次イオン質量分析法 (SIMS) でスパッタ深さ断面データを報告するための標準的な手法

規格番号

ASTM E1162-06

制定年

2006

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM E1162-11

最新版

ASTM E1162-11(2019)

範囲

この実践は、「方法」のセクション 6 で指定されている実験条件を報告するために使用されます。 または「実験的」他の出版物のセクション (編集上の制限の対象となります)。 レポートには、各データ セットの特定の条件、特に出版物内の異なるスパッタ深さプロファイル データ セットのパラメータが変更された場合、が含まれます。 たとえば、表の脚注や図のキャプションは、さまざまな条件を指定するために使用されます。 1.1 この実践では、機器、試料パラメーター、実験条件、およびデータ削減手順の説明と報告に必要な情報がカバーされます。 SIMS スパッタ深さプロファイルは、さまざまな一次ビーム励起条件、質量分析、データ取得、処理技術を使用して取得できます (1-4)。 1.2 制限 この手法は、情報が平均化される従来のスパッタ深さプロファイルに限定されます。 試験片の平面内の分析領域。 画像深さプロファイリングなど、分析領域内の二次イオンの横方向の空間分解能を可能にするイオンマイクロプローブまたは顕微鏡技術は除外されます。 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM E1162-06 発売履歴

• 2019 ASTM E1162-11(2019) 二次イオン質量分析法 (SIMS) でスパッタ深さプロファイル データをレポートするための標準的な手法
• 2011 ASTM E1162-11 二次イオン質量分析法 (SIMS) でスプラッシュ深さファイル データをレポートするための標準的な方法
• 2006 ASTM E1162-06 二次イオン質量分析法 (SIMS) でスパッタ深さ断面データを報告するための標準的な手法
• 1987 ASTM E1162-87(2001) 二次イオン質量分析法 (SIMS) でのスパッタ深さ断面データのレポート
• 1987 ASTM E1162-87(1996) 二次イオン質量分析法 (SIMS) でのスパッタ深さ断面データのレポート