ASTM E1813-96(2007)
走査型検出顕微鏡プローブの測定とレポートの標準的な方法

規格番号

ASTM E1813-96(2007)

制定年

1996

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

最新版

ASTM E1813-96(2007)

範囲

プローブ先端の形状と方向によって、スキャンからどの情報を確実に抽出できるかが決まります。 これはすべての種類のスキャンに当てはまります。 たとえば、表面粗さの測定では、プローブ先端の半径は、プローブが確実に測定できる空間周波数に大きな影響を与えます。 したがって、プローブ顕微鏡からのデータをレポートする場合、プローブ先端の形状に関する情報を取得してレポートに含めることが重要です。 1.1 この実践では走査型プローブ顕微鏡をカバーし、プローブの形状と方向に必要なパラメーターについて説明します。 1.2 この実践ではまた、走査型プローブ顕微鏡で使用されるプローブ先端の形状とサイズを測定する方法についても記載されている。 この方法では、プローブ キャラクタライザとして知られる特殊なサンプル形状を使用し、これをプローブ顕微鏡でスキャンしてプローブの寸法を決定します。 キャラクタライザのスキャンからプローブ形状を抽出する数学的手法が公開されています (2-5)。 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM E1813-96(2007) 規範的参照

• ASTM F1438 ガス分配システムコンポーネントの走査型トンネル顕微鏡による表面粗さ測定の標準試験方法*， 2020-04-15 更新するには

ASTM E1813-96(2007) 発売履歴

• 1996 ASTM E1813-96(2007) 走査型検出顕微鏡プローブの測定とレポートの標準的な方法
• 1996 ASTM E1813-96(2002) 走査型検出顕微鏡プローブの測定とレポートの標準的な方法
• 1996 ASTM E1813-96e1 走査型検出顕微鏡プローブの測定とレポートの標準的な方法