ASTM F1438-93(2020)
ガス分配システムコンポーネントの走査型トンネル顕微鏡による表面粗さ測定の標準試験方法

規格番号

ASTM F1438-93(2020)

制定年

2020

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

最新版

ASTM F1438-93(2020)

範囲

1.1 この試験方法の目的は、走査トンネル顕微鏡 (STM) を使用して上記のコンポーネントの表面組織を分析する方法を定義することです。 STM は、ナノメートル サイズ範囲の 3 次元表面特徴を測定できる非接触表面プロファイリング方法であり、これを使用して表面テクスチャを表現したり、性能指数を提供したりできます。 表面の質感が選択基準として使用されるこの試験方法を適用すると、試験されたさまざまなコンポーネント間で同等のデータが得られることが期待されます。 1.2 制限: 1.2.1 この試験方法は、接触触針式粗面計によって測定され、ANSI B46.1 で定義されている Ra = 0.25 μm より滑らかなステンレス鋼表面の特性評価に限定されます。 この試験方法で使用される倍率と高さスケールは、この滑らかさを念頭に置いて選択されました。 1.2.2 表面の意図的なエッチングまたは導電性コーティングは、ガスで濡れた表面の改質とみなされ、この試験方法ではカバーされません。 1.2.3 この試験方法は、11.3 で概説した試験条件下でトンネル掘削ができないほど厚すぎる酸化物層を有する鋼を対象としていません。 1.3 このテクニックは、STM オペレータが機器の使用法、その支配原理、および発生する可能性のあるアーティファクトを理解していることを前提として書かれています。 これらの点についての説明は、このテスト方法の範囲を超えています。 1.4 SI 単位で記載されている値は標準とみなします。 1.5 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全、健康、および環境慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断するのは、この規格のユーザーの責任です。 1.6 この国際規格は、世界貿易機関貿易技術障壁 (TBT) 委員会によって発行された国際標準、ガイドおよび推奨の開発のための原則に関する決定で確立された標準化に関する国際的に認められた原則に従って開発されました。

ASTM F1438-93(2020) 規範的参照

• ASTM E691 試験方法の精度を決定するための研究所間研究

ASTM F1438-93(2020) 発売履歴

• 2020 ASTM F1438-93(2020) ガス分配システムコンポーネントの走査型トンネル顕微鏡による表面粗さ測定の標準試験方法
• 1993 ASTM F1438-93(2012) ガス分配システムコンポーネントの走査型トンネル顕微鏡を使用した表面粗さ測定のための標準的な試験方法
• 1993 ASTM F1438-93(2005) 走査型トンネル顕微鏡によるガス分配システム部品の表面粗さの試験方法
• 1993 ASTM F1438-93(1999) ガス分配システムコンポーネントの走査型トンネル顕微鏡による表面粗さ測定の標準試験方法