ASTM F1398-93(2005)
ガス供給システムのコンポーネントによる総炭化水素を測定するための試験方法

規格番号
ASTM F1398-93(2005)
制定年
1993
出版団体
American Society for Testing and Materials (ASTM)
状態
に置き換えられる
ASTM F1398-93(2012)
最新版
ASTM F1398-93(2020)
範囲
この試験方法の目的は、高純度ガス供給システムへの設置を検討しているコンポーネントを試験する手順を定義することです。 この試験方法を適用すると、この設備の認定を目的として試験されたコンポーネント間で同等のデータが得られることが期待されます。 1.1 この試験方法は、周囲温度でのガス分配システムへの全炭化水素 (THC) 寄与についてのコンポーネントの試験を対象としています。 さらに、この試験方法では、70～176℃もの高い周囲温度でコンポーネントを試験することができます。 1.2 この試験方法は、半導体ガス供給システムで使用されるものなど、ガス状のエレクトロニクス グレードの材料を含むインライン コンポーネントに適用されます。 1.3 制限事項: 1.3.1 このテスト方法は、現在の計測器の感度および計測器の応答時間によって制限されます。 この試験方法は、外径公称サイズ 12.7 mm (1/2 インチ) を超えるコンポーネントに使用することを目的としていません。 このテスト方法は、より大きなコンポーネントにも適用できます。 ただし、記載されている体積流量では、代表的なサンプルを確保するのに十分な混合が得られない可能性があります。 流量が高いと混合は改善されますが、サンプルが過度に希釈されます。 1.3.2 異なる機器方法 (炎イオン化検出器 (FID)、質量分析計 (MS) など) では、異なる分子種に対する感度が異なるため、総炭化水素 (THC) レベルは比較できません。 高純度ガス供給システムの炭化水素汚染物質は、次の 2 つの一般的なカテゴリに分類できます。 (1) 除去の困難さと大気中の相対存在量により存在する非凝縮性炭化水素 (lt;C4)、および (2) 凝縮性炭化水素。 コンポーネントの表面に残留物として残ることがよくあります。 凝縮性炭化水素には、ポンプオイル、脱脂剤、研磨剤配合ビヒクルなどがあります。 1.3.3 炭化水素種には大きな差異があるため、同じ検出方法を使用して収集されたデータ間でのみ直接比較を行うことが推奨されます。 1.3.4 この試験方法は、6 か月の経験と同等のレベルで装置の使用を理解しているオペレーターによる使用を目的としています。 1.4 SI 単位で記載されている値は標準とみなします。 括弧内のインチポンド単位は情報提供のみを目的としています。 1.5 この規格は、その使用に関連する安全上の問題がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。 具体的な危険性に関する記述はセクション 6 に記載されています。

ASTM F1398-93(2005) 発売履歴

  • 2020 ASTM F1398-93(2020) ガス分配システムのコンポーネントによる炭化水素の総寄与を決定するための標準試験方法
  • 2012 ASTM F1398-93(2012) ガス分配システムのコンポーネントによる炭化水素の総寄与を決定するための標準試験方法
  • 1993 ASTM F1398-93(2005) ガス供給システムのコンポーネントによる総炭化水素を測定するための試験方法
  • 1999 ASTM F1398-93(1999) ガス分配システムのコンポーネントによる炭化水素の総寄与を決定するための標準試験方法


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