ASTM F1398-93(2020)
ガス分配システムのコンポーネントによる炭化水素の総寄与を決定するための標準試験方法

規格番号

ASTM F1398-93(2020)

制定年

2020

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

最新版

ASTM F1398-93(2020)

範囲

1.1 この試験方法は、周囲温度でのガス分配システムへの全炭化水素 (THC) 寄与についてのコンポーネントの試験を対象としています。 さらに、この試験方法では、70℃もの高い周囲温度でコンポーネントを試験することができます。 1.2 この試験方法は、半導体ガス供給システムで使用されるものなど、ガス状のエレクトロニクス グレードの材料を含むインライン コンポーネントに適用されます。 1.3 制限事項: 1.3.1 このテスト方法は、現在の計測器の感度および計測器の応答時間によって制限されます。 この試験方法は、外径公称サイズ 12.7 mm (1⁄2 インチ) を超える部品に使用することを目的としていません。 このテスト方法は、より大きなコンポーネントにも適用できます。 ただし、記載されている体積流量では、代表的なサンプルを確保するのに十分な混合が得られない可能性があります。 流量が高いと混合は改善されますが、サンプルが過度に希釈されます。 1.3.2 異なる機器方法 (炎イオン化検出器 (FID)、質量分析計 (MS) など) では、異なる分子種に対する感度が異なるため、総炭化水素 (THC) レベルは比較できません。 高純度ガス供給システムの炭化水素汚染物質は、次の 2 つの一般的なカテゴリに再分類できます。 (1) 非凝縮性炭化水素 (

ASTM F1398-93(2020) 発売履歴

• 2020 ASTM F1398-93(2020) ガス分配システムのコンポーネントによる炭化水素の総寄与を決定するための標準試験方法
• 2012 ASTM F1398-93(2012) ガス分配システムのコンポーネントによる炭化水素の総寄与を決定するための標準試験方法
• 1993 ASTM F1398-93(2005) ガス供給システムのコンポーネントによる総炭化水素を測定するための試験方法
• 1999 ASTM F1398-93(1999) ガス分配システムのコンポーネントによる炭化水素の総寄与を決定するための標準試験方法