JIS B 9917-5:2008
クリーンルーム使用時のメンテナンスと清掃
- 規格番号
- JIS B 9917-5:2008
- 制定年
- 2008
- 出版団体
- Japanese Industrial Standards Committee (JISC)
- 最新版
- JIS B 9917-5:2008
- 範囲
- この規格は，クリーンルーム運転における管理及び清浄化に関連する基本的要求事項について規定する。
JIS B 9917-5:2008 規範的参照
- ISO 14644-2:2000 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 2: ISO 14644-1 に継続的に準拠したテストおよびモニタリングの仕様
- JIS Z 8122 汚染モニタリング 用語
JIS B 9917-5:2008 発売履歴
- 2008 JIS B 9917-5:2008 クリーンルーム使用時のメンテナンスと清掃
