BS EN ISO 14644-3:2005
クリーンルームおよび関連する管理された環境 試験方法

規格番号

BS EN ISO 14644-3:2005

制定年

2005

出版団体

British Standards Institution (BSI)

状態

入れ替わる 2020-06

に置き換えられる

BS EN ISO 14644-3:2019

最新版

BS EN ISO 14644-3:2019(2020)

範囲

ISO 14644-3:2005 では、浮遊微粒子の清浄度の指定された分類と、クリーンルームおよびクリーン ゾーンの性能の特性評価のための試験方法が規定されています。 性能テストは、2 つのタイプのクリーンルームとクリーン ゾーン、つまり一方向の流れを持つクリーンルームと非一方向の流れを持つクリーン ゾーンに対して指定されており、建設時、休止中、運用中の 3 つの可能な占有状態で行われます。 ISO 14644-3:2005 は、クリーンルームまたは分離装置での製品またはプロセスの測定には適用されません。

BS EN ISO 14644-3:2005 発売履歴

• 0000 BS EN ISO 14644-3:2019(2020)
• 2020 BS EN ISO 14644-3:2019 クリーンルームおよび関連する制御環境の試験方法
• 2005 BS EN ISO 14644-3:2005 クリーンルームおよび関連する管理された環境 試験方法