ISO 14644-3 – C リーンルーム テストとは何ですか? ISO 14644 では、クリーンルームと関連する管理された環境について説明しています。
ISO 14644-3 は、クリーンルームおよび関連する管理環境に関するマルチシリーズの 3 番目の部分であり、空気清浄度分類、その他の清浄度属性、および関連する管理条件を満たすクリーンルームおよびクリーン ゾーンの運用をサポートする試験方法を提供します。
性能テストは、2 つのタイプのクリーンルームとクリーン ゾーンに対して指定されています。
1 方向のエアフローを使用するものと、非一方向のエアフローを使用するもので、建設時、休止中、運用時の 3 つの占有状態を想定しています。
注: この文書には、すべてのクリーンルーム パラメータ テスト手順が示されているわけではありません。
粒子濃度別の空気清浄度クラスおよびマクロ粒子に対して実施される試験の手順と装置は BS EN ISO 14644-1 に規定されており、ナノスケールの粒子濃度による空気清浄度の監視仕様は BS EN ISO 14644-12 に規定されています。
特定の製品またはプロセスに使用されるクリーンルームおよびクリーンゾーンで懸念される他のパラメータを特徴付ける手順および装置については、他の文書のどこかで説明されています。
たとえば、生存物質の管理および測定手順 (BS EN ISO 14698 シリーズ)、試験などです。
クリーンルーム機能 (BS EN ISO 14644-4)、および分離装置のテスト (BS EN ISO 14644-7)。
さらに、他の規格も適用可能であると考えられます。
その他の清浄度属性レベルは、BS EN ISO 14644-8 (化学物質による空気清浄度のレベル)、BS EN ISO 14644-9 (粒子濃度による表面清浄度のレベル)、および BS EN...を使用して決定できます。