GB/T 6618-1995
シリコンウェーハの厚みと総厚みばらつき試験方法 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 6618-1995
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1995
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2010-06
- に置き換えられる
- GB/T 6618-2009
- 最新版
- GB/T 6618-2009
- 範囲
- この規格は、切断、研削、研磨されたシリコン単結晶ウェーハ (略してシリコンウェーハ) の厚さと全体の厚さのばらつきを測定する離散点測定法と走査測定法を規定しています。
GB/T 6618-1995 発売履歴
- 2009 GB/T 6618-2009 シリコンウェーハの厚みと総厚みばらつき試験方法
- 1995 GB/T 6618-1995 シリコンウェーハの厚みと総厚みばらつき試験方法
