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- ASTM F1725-02
- 規格番号
- ASTM F1725-02
- 制定年
- 1970
- 出版団体
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- 最新版
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ASTM F1725-02
- 範囲
- 1.1 この実習では、シリコン インゴットの結晶学的完全性の分析を扱います。
説明されている手順は、サンプルの準備、エッチング液の選択と使用、欠陥の特定、および欠陥の計数です。
1.2 この手法は、[111] または [100] 方向で成長し、抵抗率が 0.005 Vcm を超える p 型または n 型のいずれかがドープされたシリコンを評価する場合の使用に適しています。
1.3 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。
適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
ASTM F1725-02 規範的参照
ASTM F1725-02 発売履歴