VDI 2083 Blatt 4-1993
Reinraumtechnik; Oberflaechenreinheit

規格番号

VDI 2083 Blatt 4-1993

制定年

1993

出版団体

VDI - Verein Deutscher Ingenieure

状態

入れ替わる 2011-05

に置き換えられる

VDI 2083 Blatt 4-1996

最新版

VDI 2083 Blatt 9.1-2006

VDI 2083 Blatt 5.1-2007

VDI 2083 Blatt 4-1993 発売履歴

• 2006 VDI 2083 Blatt 9.1-2006 クリーンルーム技術と必要な清浄度および表面清浄度の互換性
• 1996 VDI 2083 Blatt 4-1996 クリーンルーム技術 - 表面の清浄度
• 1993 VDI 2083 Blatt 4-1993 Reinraumtechnik; Oberflaechenreinheit