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- ASTM F1392-02
- 規格番号
- ASTM F1392-02
- 制定年
- 1970
- 出版団体
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- 最新版
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ASTM F1392-02
- 範囲
- 1.1 この試験方法 2 は、約 4 3 10 13 ～約 8 3 1016 キャリア/cm3 の範囲（抵抗率の範囲は約 0.1 ～ 約 100 V ｎ型ウェーハでは約０．２４～約３３０Ｖ・ｃｍ）。
1.2 このテスト方法では、エピタキシャルまたは研磨されたウェーハ表面に水銀プローブが接触したショットキー バリア ダイオードを形成する必要があります。
信頼性の高いショットキー バリア ダイオードを製造するには、シリコン表面の化学処理が必要な場合があります (1)。
3 表面処理の化学的性質は、nand と p 型のウェーハでは異なります。
このテスト方法は、ウェーハ表面に形成されたショットキー接点による汚染の可能性があるため、破壊的であると考えられることがあります。
ただし、同じ試験片に対して繰り返し測定を行うこともできます。
1.3 このテスト方法は、同じまたは反対の導電型の基板上のエピタキシャル層に適用できます。
この試験方法には、絶縁バックシール層の有無にかかわらず基板を測定するための治具の説明が含まれています。
1.4 プロファイリングできる領域の深さは、試験片のドーピング レベルによって異なります。
Severin (1) と Grove (2) によって報告されたデータに基づいて、図 1 は空乏深さ、ドーパント密度、印加電圧と水銀シリコン接点のブレークダウン電圧の関係を示しています。
試験片は、1 V の印加電圧に対応する空乏深さから、最大印加電圧 (200 V または降伏電圧の約 80 % のいずれか低い方) に対応する空乏深までのプロファイルを作成できます。
この試験方法で測定するには、層は 2 V の印加電圧に対応する空乏深さよりも厚くなければなりません。
1.5 この試験方法は、サンプルの準備時間が延長されたり、ウェーハの高温処理が行われる場合に、迅速にキャリア密度を測定することを目的としています。
実用的ではありません。
1.6 この試験方法は、試験方法 F 84 (注 1) に従って 23°C で抵抗率が測定された研磨済みバルク基準ウェーハを使用して、水銀プローブのコンタクトの有効面積を決定するために提供されます。
この試験方法には、静電容量と電圧の両方を測定するための装置の校正手順も含まれています。
注 1 - 製造されたメサまたはプレーナ pn 接合ダイオードまたは蒸着ショットキー ダイオードを使用して正味キャリア密度が測定された基準ウェーハの使用を含む、水銀プローブの接触の実効面積を決定する代替方法は、この試験方法には含まれていません。
テスト当事者が同意した場合には使用することができます。
1.7 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。
適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
具体的な危険有害性情報は、7.1、( 7.2、7.10.3 (注 6)、8.2、11.5.1、11.6.3、および 11.6.5 に記載されています。
ASTM F1392-02 規範的参照
ASTM F1392-02 発売履歴
