ASTM F1844-97(2016)
非接触渦流計を使用してフラットパネルディスプレイを製造する薄膜導体のシート抵抗を測定するための標準的な手法

規格番号

ASTM F1844-97(2016)

制定年

2016

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

最新版

ASTM F1844-97(2016)

範囲

1.1 この実践では、フラット パネル情報ディスプレイの製造に使用される、大きな絶縁基板 (ガラスまたはプラスチック) 上に堆積されたスパッタリングされた薄い導電性フィルムのシート電気抵抗を測定する方法について説明します。 1.2 この実践は、テスト方法 F673 で使用することを目的としています。 この実践は、オペレータが測定ヘッドを試験片上に配置し、その後個人的に試験装置を作動させる「手動」測定手順に関係します。 結果として得られるテスト データは、オペレータによって表にまとめられるか、あるいはコンピュータ ベースのデータ ロギング システムに送信されます。 試験方法 F673 の方法 I と II (試験方法 F673 の段落 3.1 から 3.3.3) の両方が、この実践に適用できます。 1.3 この方法では、1 平方当たり 0.020 ～ 3000 Ω の範囲のシート抵抗率 (1 平方当たり 3 x 10-4 ～ 50 mhos の範囲のシート コンダクタンス) を測定できます。 シート抵抗は、プローブされる領域内で均一であると仮定されます。 注 1 - この実践で説明されている典型的な手動テスト装置は、「平方当たりモース」という単位で測定および報告されます。 これは「平方当たりのオーム」の逆数です。 1.4 この実践は平坦な表面にのみ適用されます。 1.5 この実践は非破壊的です。 生産の均一性を確保するために生産パネルに使用することもできます。 1.6 SI 単位で記載された値は標準とみなされます。 この規格には他の測定単位は含まれません。 1.7 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM F1844-97(2016) 規範的参照

• ASTM F673 非接触渦電流計を使用して半導体ダイアフラムの抵抗率を測定する標準的な試験方法

ASTM F1844-97(2016) 発売履歴

• 2016 ASTM F1844-97(2016) 非接触渦流計を使用してフラットパネルディスプレイを製造する薄膜導体のシート抵抗を測定するための標準的な手法
• 1997 ASTM F1844-97(2008) 非接触渦電流計を使用してフラットパネルディスプレイの製造に使用される薄膜導体の耐久性を測定するための標準的な方法
• 1997 ASTM F1844-97(2002) 非接触渦電流計を使用してフラットパネルディスプレイの製造に使用される薄膜導体の耐久性を測定するための標準的な方法
• 1997 ASTM F1844-97 非接触渦電流計を使用してフラットパネルディスプレイの製造に使用される薄膜導体の耐久性を測定するための標準的な方法