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- ASTM F574-88
- 規格番号
- ASTM F574-88
- 制定年
- 1970
- 出版団体
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- 最新版
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ASTM F574-88
- 範囲
- 1.1 この試験方法は、ポリシリコンからゾーン化された単結晶の特性評価を通じて、チョクラルスキー法による結晶成長に使用することを目的とした、直径 60 mm 以上のポリシリコン インゴットの純度の間接的な測定を対象としています。
3. 用語 1.2 この試験方法は、ゾーンメルティング中のシリコン内のホウ素とリンの有効分配係数、およびシリコンからのホウ素とリンの蒸発速度の違いを利用します。
ホウ素とリンは、半導体グレードの多結晶シリコンに常に見られる 2 つの残留ドーパント不純物です。
3.1 この規格に特有の用語の説明: 3.1.1 コア - 中空ダイヤモンド ドリルで穴を開けることによって、大きなポリシリコン片から得られるポリシリコンの円柱。
3.1.2 レフリーロッド - 少なくとも 6 回のパスで真空中でゾーン化された単結晶ロッドフロート。
ホウ素濃度は 0.07 ppba 未満です。
3.2 定義: 3.2.1 ポリシリコン(ポリ) - 多結晶シリコン。
1.3 この方法でカバーされる不純物濃度の有効範囲は、0.02 ～ 20 ppb 原子 kvba) です。
4. 試験方法の概要 1.4 この試験方法は、多結晶シリコンが堆積される細いシリコンロッドを利用する方法によって成長させたポリシリコンインゴットの評価にのみ適用されます。
1.5 このテスト方法は、審査方法として使用することを目的としていますが、日常的な評価にも適用できます。
1.6 インチポンド単位で記載された値は標準とみなされます。
括弧内の値は情報提供のみを目的としています。
4.1 検査対象のインゴットからポリシリコンのコアサンプルを採取します。
1.i' この規格には、危険な物質、作業、および機器が含まれる場合があります。
この規格は、その使用に関連する安全性の問題のすべてに対処することを目的とするものではありません。
適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断するのは、この規格のユーザーの責任です。
具体的な危険性に関する記述については、セクション 9 を参照してください。
4.2 2 つのポリシリコン コアを一連の溶剤と酸で洗浄します。
次に、一方はガス雰囲気のフロートゾーニング装置に取り付けられ、もう一方は真空雰囲気のフロートゾーニング装置に取り付けられます。
4.3 2 つのポリシリコン コアは、所定の条件下でフローティング ゾーン技術によって単結晶ロッドに変換されます。
1 つはガス雰囲気中で 1 回のパスによって、もう 1 つは真空中で 6 回のパスによって行われます。
4.4 各ロッドの種類と中央部分の抵抗率は 0.4 インチで決定されます。
(lo-mm) 間隔とロッド内の avcragc ホウ素およびリン濃度が計算されます。
これらの濃度から、多結晶シリコンインゴット中のホウ素とリンの濃度が計算され、
ASTM F574-88 規範的参照
- ASTM D1193 試薬水 (連邦試験法 No. 7916)*， 1999-04-09 更新するには
- ASTM F397 点プローブを使用してシリコンロッドの抵抗率を測定する標準的な試験方法*， 1993-04-09 更新するには
- ASTM F4 電子管用の超硬ニッケル棒、超硬ニッケルメッキおよびニッケルクラッド鋼棒*， 1966-04-09 更新するには
- ASTM F41
- ASTM F42 サッカー用保護ヘルメットの衝撃吸収性の標準試験方法*， 1993-04-09 更新するには
ASTM F574-88 発売履歴
