IEC 62047-17:2015
半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - 第17回：薄膜の機械的特性を測定するための膨潤試験方法

規格番号

IEC 62047-17:2015

制定年

2015

出版団体

International Electrotechnical Commission (IEC)

最新版

IEC 62047-17:2015

交換する

IEC 47F/210/FDIS:2014

IEC 62047-17:2015 規範的参照

• IEC 62047-2:2006 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 2: 薄膜材料の引張試験方法

IEC 62047-17:2015 発売履歴

• 2015 IEC 62047-17:2015 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - 第17回：薄膜の機械的特性を測定するための膨潤試験方法