DIN EN 62047-21:2015-04
半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 21: 薄膜 MEMS 材料のポアソン比の試験方法 (IEC 62047-21:2014)

規格番号

DIN EN 62047-21:2015-04

制定年

2015

出版団体

German Institute for Standardization

最新版

DIN EN 62047-21:2015-04

DIN EN 62047-21:2015-04 発売履歴

• 2015 DIN EN 62047-21:2015-04 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 21: 薄膜 MEMS 材料のポアソン比の試験方法 (IEC 62047-21:2014)
• 2015 DIN EN 62047-21:2015 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 21: 薄膜 MEMS 材料のポアソン比の試験方法 (IEC 62047-21:2014)、ドイツ語版 EN 62047-21:2014
• 1970 DIN EN 62047-21 E:2012-11 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - 第 21 部: 薄膜 MEMS 材料のポアソン比の試験方法
• 0000 DIN EN 62047-21:2012