DIN EN 62047-21 E:2012-11
半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - 第 21 部: 薄膜 MEMS 材料のポアソン比の試験方法
- 規格番号
- DIN EN 62047-21 E:2012-11
- 制定年
- 1970
- 出版団体
- /
- 状態
- に置き換えられる
- DIN EN 62047-21:2015
- 最新版
- DIN EN 62047-21:2015-04
DIN EN 62047-21 E:2012-11 発売履歴
- 2015 DIN EN 62047-21:2015-04 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 21: 薄膜 MEMS 材料のポアソン比の試験方法 (IEC 62047-21:2014)
- 2015 DIN EN 62047-21:2015 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 21: 薄膜 MEMS 材料のポアソン比の試験方法 (IEC 62047-21:2014)、ドイツ語版 EN 62047-21:2014
- 1970 DIN EN 62047-21 E:2012-11 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - 第 21 部: 薄膜 MEMS 材料のポアソン比の試験方法
