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- ASTM F1389-00
- 規格番号
- ASTM F1389-00
- 制定年
- 1970
- 出版団体
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- 最新版
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ASTM F1389-00
- 範囲
- 1.1 これらの試験方法は、低転位単結晶シリコン中の電気的に活性なホウ素、リン、ヒ素、アルミニウム含有量の同時測定を対象としています。
これらの化学種は、試験法 F 1630 の手順によっても測定できます。
1.2 これらの試験法は、大部分のドーパント密度が約 1 3 10 11 ～ 5 3 1015 原子/cm3 であるサンプルに使用できます。
1.3 これらの試験方法を使用して得られた濃度は、濃度の対数と特定の発光線強度比の対数の経験的に決定された関係に基づいています。
1.4 確立された経験的関係は、特定の機器でのすべての測定においてサンプルの励起レベルが一定であることを前提としています。
1.5 機器の違いに対応するために、この提案には 2 つの方法が含まれています。
「試験方法 A」は、サンプルの高励起条件下で動作する分散型赤外分光光度計に適した手順を指し、「試験方法 B」は、低励起条件下で動作するフーリエ変換装置に適切な手順を指します。
1.5.1 各試験方法の典型的な検量線が提供されます。
これらの曲線は、標準サンプルの分析を参照データとして使用して、機器ごとに修正されます。
変更が完了すると、特定の機器の曲線は、同じテスト方法を使用して同様に操作された他の機器と一致するサンプルのドーパント密度値を生成する必要があります。
試験方法 A を使用して取得されたデータは、試験方法 B を使用して取得されたデータと一致しない可能性があるため、使用された試験方法を参照して値を報告する必要があります。
1.6 多くの研究室ではフォトルミネッセンスを使用してエピタキシャル層を分析しています。
ただし、このアプリケーションには多くの変数が存在し、基礎となる物理学は完全には理解されていません。
したがって、これらのテスト方法は、そのような分析に関する標準的な実践方法を概説するものではありません。
1.7 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。
適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
ASTM F1389-00 規範的参照
ASTM F1389-00 発売履歴
