EN 62276:2016
弾性表面波 (SAW) デバイス用途の単結晶ウェーハの仕様と測定方法

規格番号

EN 62276:2016

制定年

2016

出版団体

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

最新版

EN 62276:2016

に置き換えられる

prEN IEC 62276

範囲

IEC 62276:2012 は、表面の製造における基板として使用することを目的とした合成石英、ニオブ酸リチウム (LN)、タンタル酸リチウム (LT)、四ホウ酸リチウム (LBO)、およびケイ酸ランタン ガリウム (LGS) 単結晶ウェーハの製造に適用されます。 弾性波 (SAW) フィルターと共振器。 この版には、前版と比較して次のような重要な技術的変更が含まれています。 - 用語と定義がアルファベット順に並べ替えられています。 - 「削減された LN」が用語と定義に追加されます。 - 「縮小 LT」が用語と定義に追加されます。 - 削減プロセスは用語と定義に追加されます。

EN 62276:2016 発売履歴

• 2016 EN 62276:2016 弾性表面波 (SAW) デバイス用途の単結晶ウェーハの仕様と測定方法
• 2013 EN 62276:2013 弾性表面波 (SAW) デバイス用途の単結晶ウェーハの仕様と測定方法
• 2005 EN 62276:2005 医用電気機器の放射線治療記録・検証システムの安全性