EN 62276:2013
弾性表面波 (SAW) デバイス用途の単結晶ウェーハの仕様と測定方法

規格番号

EN 62276:2013

制定年

2013

出版団体

CENELEC - European Committee for Electrotechnical Standardization

状態

入れ替わる

に置き換えられる

EN 62276:2016

最新版

EN 62276:2016

範囲

この国際規格は、表面音響の製造における基板として使用することを目的とした合成石英@ニオブ酸リチウム(LN)@タンタル酸リチウム(LT)@四ホウ酸リチウム(LBO)@およびケイ酸ランタンガリウム(LGS)単結晶ウェーハの製造に適用されます。 波（SAW）フィルターと共振器。

EN 62276:2013 発売履歴

• 2016 EN 62276:2016 弾性表面波 (SAW) デバイス用途の単結晶ウェーハの仕様と測定方法
• 2013 EN 62276:2013 弾性表面波 (SAW) デバイス用途の単結晶ウェーハの仕様と測定方法
• 2005 EN 62276:2005 医用電気機器の放射線治療記録・検証システムの安全性