T/IAWBS 005-2018
6インチ炭化ケイ素単結晶研磨ディスク (英語版)
- 規格番号
- T/IAWBS 005-2018
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2018
- 出版団体
- Group Standards of the People's Republic of China
- 状態
- 2024-01
- に置き換えられる
- T/IAWBS 005-2024
- 最新版
- T/IAWBS 005-2024
- 範囲
- この規格は、6 インチ 4H および 6H 炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハの片面または両面研磨によって作成された炭化ケイ素研磨ウェーハに適用されます。 6 inch 4H および6H 炭化珪素単結晶研磨ウェーハに必要な関連用語、製品分類、技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送、保管などを規定しています。 この規格では、炭化珪素研磨ウェハの結晶方位は、炭化珪素研磨ウェハの面方位の直交結晶方位偏差が以下のとおりであると規定している。 a)直交結晶方位：0°±0.5°; b) 結晶学的方向の偏差: 炭化ケイ素研磨ウェーハの結晶学的方向の偏差は、ウェーハ表面の法線から主位置決めエッジに沿った [1120] 方向まで 4°±0.5° または他の角度です。 。 同時に、この規格では表面欠陥、微小管密度、結晶品質、比抵抗、ポリタイプ、転位密度なども規定されています。
T/IAWBS 005-2018 発売履歴
- 2024 T/IAWBS 005-2024 6～8インチ炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハ
- 2018 T/IAWBS 005-2018 6インチ炭化ケイ素単結晶研磨ディスク
