T/IAWBS 005-2024
6～8インチ炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハ (英語版)

規格番号

T/IAWBS 005-2024

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2024

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/IAWBS 005-2024

範囲

本文書は、6 ～ 8 インチ 4H 炭化珪素単結晶研磨ウェーハのグレードと分類、技術的要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送、保管、添付書類、注文書の内容を規定しています。 この文書は、パワーエレクトロニクスデバイスおよび高周波マイクロ波デバイス用のエピタキシャル材料用の炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハの製造に適用されます。

T/IAWBS 005-2024 発売履歴

• 2024 T/IAWBS 005-2024 6～8インチ炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハ
• 2018 T/IAWBS 005-2018 6インチ炭化ケイ素単結晶研磨ディスク