ASTM F980-16(2024)
シリコン半導体デバイスの中性子誘起変位損傷の急速アニール測定の標準ガイド

規格番号

ASTM F980-16(2024)

制定年

2024

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

最新版

ASTM F980-16(2024)

ASTM F980-16(2024) 発売履歴

• 2024 ASTM F980-16(2024) シリコン半導体デバイスの中性子誘起変位損傷の急速アニール測定の標準ガイド
• 2016 ASTM F980-16 シリコン半導体デバイスの中性子誘起変位損傷の急速アニールのための標準ガイド
• 2010 ASTM F980-10e1 シリコン半導体デバイスの中性子誘起変位欠陥を測定するための高速アニーリングの標準ガイド
• 2010 ASTM F980-10 シリコン半導体デバイスの中性子誘起変位故障を測定するための高速アニーリングの標準ガイド
• 1992 ASTM F980-92 シリコン半導体デバイスの中性子誘起変位損傷の急速アニール測定ガイド