IEC 62659:2013
ナノエレクトロニクスデバイスの大規模製造に関するIEEE/IEC規格草案

規格番号

IEC 62659:2013

制定年

2013

出版団体

Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

状態

入れ替わる 2015-10

に置き換えられる

IEC 62659:2015

最新版

IEC 62659:2015

範囲

この規格は、確立された半導体工場 (ファブ) での大規模大量製造にグラフェンなどのナノマテリアルを導入するためのフレームワークを提供します。 半導体ファブには高い歩留まりを維持する慣行を組み込む必要があるため、製造の実行方法については非常に厳しい要件があります。 半導体工場における潜在的な汚染物質、および...

IEC 62659:2013 発売履歴

• 2015 IEC 62659:2015 ナノファブリケーション ナノエレクトロニクスの大規模製造 (バージョン 1.0)
• 2013 IEC 62659:2013 ナノエレクトロニクスデバイスの大規模製造に関するIEEE/IEC規格草案