IEC 62659:2015
ナノファブリケーション ナノエレクトロニクスの大規模製造 (バージョン 1.0)

規格番号

IEC 62659:2015

制定年

2015

出版団体

IEC - International Electrotechnical Commission

最新版

IEC 62659:2015

範囲

この国際規格は、ナノマテリアル (例: カーボン ナノチューブ @ グラフェン @ 量子ドット @ など) の組み込みを通じて、半導体製造施設における大規模大量生産にナノエレクトロニクスを導入するための枠組みを提供します。 半導体製造施設には高い歩留まりを維持するための慣行を組み込む必要があるため、製造の実行方法には非常に厳しい要件があります。 ナノマテリアルは半導体製造施設における潜在的な汚染物質であり、体系的かつ体系的な方法で導入する必要があります。 この国際規格は、半導体製造施設へのナノマテリアルの導入を促進するために採用される手順を規定しています。 このシーケンスは、原材料の入手@材料加工@設計@IC製造@テスト@および最終用途の分野で以下に説明されます。 これらの活動は、半導体製造施設におけるサプライチェーンの主要な段階を表します。

IEC 62659:2015 発売履歴

• 2015 IEC 62659:2015 ナノファブリケーション ナノエレクトロニクスの大規模製造 (バージョン 1.0)
• 2013 IEC 62659:2013 ナノエレクトロニクスデバイスの大規模製造に関するIEEE/IEC規格草案