ASTM E2244-11
光学干渉計を用いた薄膜反射膜の面内長さを測定する標準的な試験方法

規格番号

ASTM E2244-11

制定年

2011

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM E2244-11e1

最新版

ASTM E2244-11(2018)

範囲

面内長さの測定は、残留ひずみやヤング率などのパラメータの計算に使用されます。 特定のテスト構造には面内たわみ測定が必要です。 残留ひずみを含むパラメータは、これらの面内たわみ測定を考慮して計算されます。 1.1 この試験方法は、パターン化された薄膜の面内長さ (たわみを含む) を測定する手順をカバーします。 これは、光学干渉計を使用して画像化できる微小電気機械システム (MEMS) 材料などのフィルムにのみ適用されます。 1.2 面内長を決定する他の方法もあります。 通常、設計寸法を使用すると、光学干渉計で取得した測定値を使用するよりも正確な面内長さの値が得られます。 (干渉測定は通常、光学顕微鏡での測定よりも正確です。 ) この試験方法は、設計寸法を使用するよりも干渉測定が優先される場合 (たとえば、面内たわみを測定する場合や、実証されていない領域で長さを測定する場合) に使用することを目的としています。 1.3 この試験方法では、地形的な 3D データセットを取得する機能を備えた非接触光学干渉計を使用します。 1.4 測定される最大面内長は、最低倍率での干渉計の最大視野によって決まります。 測定される最小偏向は、最高倍率での干渉計のピクセル間の間隔によって決まります。 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM E2244-11 発売履歴

• 2018 ASTM E2244-11(2018) 光学干渉計を用いた薄膜反射膜の面内長さを測定する標準的な試験方法
• 2011 ASTM E2244-11e1 光学干渉法を使用して反射フィルムの共面長を測定するための標準的な試験方法
• 2011 ASTM E2244-11 光学干渉計を用いた薄膜反射膜の面内長さを測定する標準的な試験方法
• 2005 ASTM E2244-05 光学干渉計を用いた薄膜反射膜の面内長さを測定する標準的な試験方法
• 2002 ASTM E2244-02 光学干渉計を使用して反射膜の共面長を測定するための標準的な試験方法