ASTM F1189-88 規格と仕様

範囲: 1.1 この試験方法は、コンピューター支援分散型赤外 (CA-DIR) またはフーリエ変換赤外 (FT-IR) 分光光度計を使用して、両面を研磨した単結晶シリコンスライスの格子間酸素含有量の測定を対象としています。厚さが 0 から 100 の間のシリコンスライスに適用できます。 3 と 2 。 5 mm (両端を含む) I.2 この試験方法は、0.2 Qacm (11 型) を超える、または 1.0 9-cm @ 型) を超える抵抗率を持つシリコンスライスに適用できます。 1. 3 この試験方法で測定できる酸素濃度の有効範囲は、試験片の厚さに応じて 1 X 1016 ～ 2 X 10" 原子/cm3 です。通常、下限は試験片が厚い場合に達成可能であり、上限は達成可能です。 1.4 この試験方法を使用して得られた酸素濃度は、格子間酸素濃度とシリコン内の格子間酸素に関連する 1107cm" バンドの吸収係数との間に線形関係があると仮定しています。 1.5 この規格には、危険な材料、作業、および設備が含まれる場合があります。この規格は、その IRSE に関連する安全テレビ問題のすべてに対処することを目的とするものではありません。適切な安全衛生慣行を確立し、事前に規制上の制限への適用可能性を判断するのは、この規格の使用者の責任です。

ASTM F1189-88 規範的参照