DIN 32567-1 E:2014-11
マイクロシステムの製造装置 - 光学的および触覚的寸法計測に対する材料の影響の決定 - パート 1: 材料および手順に特有の影響の定性的推定
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DIN 32567-1 E:2014-11
規格番号
DIN 32567-1 E:2014-11
制定年
1970
出版団体
/
状態
入れ替わる
に置き換えられる
DIN 32567-1:2015
最新版
DIN 32567-1:2015-06
DIN 32567-1 E:2014-11 発売履歴
2015
DIN 32567-1:2015-06
光学的および触覚的寸法計測に対する材料の影響を決定するマイクロシステム製造装置パート 1: 材料およびプロセス固有の影響の定性的推定
2015
DIN 32567-1:2015
マイクロシステム製造装置の光学的および触覚的寸法計測に対する材料の影響の決定 パート 1: 材料および手順に特有の影響の定性的推定
1970
DIN 32567-1 E:2014-11
マイクロシステムの製造装置 - 光学的および触覚的寸法計測に対する材料の影響の決定 - パート 1: 材料および手順に特有の影響の定性的推定
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