DIN 32567-1:2015-06
光学的および触覚的寸法計測に対する材料の影響を決定するマイクロシステム製造装置パート 1: 材料およびプロセス固有の影響の定性的推定
- 規格番号
- DIN 32567-1:2015-06
- 制定年
- 2015
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 最新版
- DIN 32567-1:2015-06
DIN 32567-1:2015-06 発売履歴
- 2015 DIN 32567-1:2015-06 光学的および触覚的寸法計測に対する材料の影響を決定するマイクロシステム製造装置パート 1: 材料およびプロセス固有の影響の定性的推定
- 2015 DIN 32567-1:2015 マイクロシステム製造装置の光学的および触覚的寸法計測に対する材料の影響の決定 パート 1: 材料および手順に特有の影響の定性的推定
- 1970 DIN 32567-1 E:2014-11 マイクロシステムの製造装置 - 光学的および触覚的寸法計測に対する材料の影響の決定 - パート 1: 材料および手順に特有の影響の定性的推定
- 0000 DIN 32567-1:2014
