GB/T 39159-2020
集積回路用高純度銅合金ターゲット (英語版)

規格番号

GB/T 39159-2020

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2020

出版団体

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

最新版

GB/T 39159-2020

範囲

この規格は、集積回路用高純度銅合金ターゲット（以下、スクリード材と呼ぶ）の分類、技術的要件、試験方法、検査規則と標識、「梱包、輸送、保管」の品質証明書および注文書（または契約書）を規定しています。 ）。 コンテンツ。 この規格は、集積回路製造用の高純度銅アルミニウム (CuAl) 合金ターゲットおよび高純度銅マンガン (CuMn) 合金ターゲットに適用されます。

GB/T 39159-2020 規範的参照

• GB/T 14265 金属材料中の水素、酸素、窒素、炭素、硫黄の分析の一般原則
• GB/T 36165 電子後方散乱回折 (EBSD) 法による金属の平均粒径の測定
• GB/T 8170 数値の丸め規則と極値の表現と決定
• GB/T 8651 金属板の超音波板波探傷法
• YS/T 482 銅および銅合金の分析方法 火花放電発光分析法*， 2022-09-30 更新するには
• YS/T 837 スパッタリングターゲット・バックプレート一体型高品質超音波検査法

GB/T 39159-2020 発売履歴

• 2020 GB/T 39159-2020 集積回路用高純度銅合金ターゲット