ASTM E1078-14(2020) 試験片の準備と表面分析のセットアップに関する標準ガイド規格と仕様

範囲: 1.1 このガイドは、表面分析前、表面分析中、表面分析後の試料の準備と取り付けについて説明しており、次の表面分析分野に適用されます: 1.1.1 オージェ電子分光法 (AES)、1.1.2 X 線光電子分光法 (XPS および ESCA)、 1.1.3 二次イオン質量分析法 (SIMS)。 1.1.4 これらのメソッドは主に AES、XPS、SIMS 用に書かれていますが、イオン散乱分光法、低エネルギー電子回折、電子エネルギー損失分光法など、試料の取り扱いが表面感度に影響を与える可能性がある多くの表面感度分析手法にも適用されます。測定。 1.2 SI 単位で記載された値は標準とみなされます。この規格には他の測定単位は含まれません。 1.3 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。適切な安全、健康、および環境慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断するのは、この規格のユーザーの責任です。 1.4 この国際規格は、世界貿易機関貿易技術障壁 (TBT) 委員会によって発行された国際規格、ガイドおよび推奨事項の開発のための原則に関する決定で確立された、国際的に認められた標準化原則に従って開発されました。

ASTM E1078-14(2020) 規範的参照