UNI ISO 21360-4:2020
真空技術 真空ポンプの標準性能測定方法 第4部 ターボ分子真空ポンプ

規格番号

UNI ISO 21360-4:2020

制定年

2020

出版団体

IT-UNI

最新版

UNI ISO 21360-4:2020

UNI ISO 21360-4:2020 発売履歴

• 2020 UNI ISO 21360-4:2020 真空技術 真空ポンプの標準性能測定方法 第4部 ターボ分子真空ポンプ