UNI ISO 21360-3:2020
真空技術 真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法 パート 3: 機械的にブーストされた真空ポンプの特定のパラメータ

規格番号

UNI ISO 21360-3:2020

制定年

2020

出版団体

IT-UNI

最新版

UNI ISO 21360-3:2020

UNI ISO 21360-3:2020 発売履歴

• 2020 UNI ISO 21360-3:2020 真空技術 真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法 パート 3: 機械的にブーストされた真空ポンプの特定のパラメータ