PNS ISO 14644-15:2021
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 15: 空気中の化学物質濃度による機器および材料の適合性の評価

規格番号

PNS ISO 14644-15:2021

制定年

2021

出版団体

PH-BPS

最新版

PNS ISO 14644-15:2021

範囲

この規格は、化学薬品による清浄度クラスの ISO 規格に関連付けられた、クリーンルームおよび関連する管理された環境での使用が想定される機器および材料の化学物質の空気中の清浄度を評価するための要件とガイドラインを提供します。

PNS ISO 14644-15:2021 発売履歴

• 2021 PNS ISO 14644-15:2021 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 15: 空気中の化学物質濃度による機器および材料の適合性の評価