PNS ISO 14644-14:2021
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 14: 空気粒子濃度による機器の適合性の評価

規格番号

PNS ISO 14644-14:2021

制定年

2021

出版団体

PH-BPS

最新版

PNS ISO 14644-14:2021

範囲

PNS ISO 14644 のこの部分では、空気中の粒子の清浄度に関して、クリーンルームおよび関連する管理された環境で使用する機器 (機械、測定機器、プロセス機器、コンポーネントおよびツールなど) の適合性を評価する方法を規定しています。

PNS ISO 14644-14:2021 発売履歴

• 2021 PNS ISO 14644-14:2021 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 14: 空気粒子濃度による機器の適合性の評価