NF A91-156*NF ISO 23216:2021
炭素系フィルムのエリプソメトリーを使用したアモルファスカーボンフィルムの光学特性の測定

規格番号

NF A91-156*NF ISO 23216:2021

制定年

2021

出版団体

Association Francaise de Normalisation

最新版

NF A91-156*NF ISO 23216:2021

NF A91-156*NF ISO 23216:2021 発売履歴

• 2021 NF A91-156*NF ISO 23216:2021 炭素系フィルムのエリプソメトリーを使用したアモルファスカーボンフィルムの光学特性の測定