ISO 18114:2021
表面化学分析、二次イオン質量分析、イオン注入された標準物質の相対感度係数の決定。

規格番号

ISO 18114:2021

制定年

2021

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 18114:2021

範囲

この文書では、イオン注入された標準物質から二次イオン質量分析 (SIMS) の相対感度係数 (RSF) を決定する方法を規定します。 この方法は、マトリックスが均一な化学組成を持ち、注入種のピーク濃度が 1 原子パーセントを超えない試料に適用できます。

ISO 18114:2021 発売履歴

• 2021 ISO 18114:2021 表面化学分析、二次イオン質量分析、イオン注入された標準物質の相対感度係数の決定。
• 2003 ISO 18114:2003 表面化学分析、二次イオン質量分析、イオン注入標準における相対感度係数の決定。