KS I ISO 14644-9:2014
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 9: 粒子濃度による表面清浄度の分類

規格番号

KS I ISO 14644-9:2014

制定年

2014

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

撤回

に置き換えられる

KS I ISO 14644-9:2019

最新版

KS I ISO 14644-9:2019

KS I ISO 14644-9:2014 発売履歴

• 2019 KS I ISO 14644-9:2019 クリーンルームおよび関連する管理環境 - パート 9: 粒子濃度による表面清浄度の分類
• 2014 KS I ISO 14644-9:2014 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 9: 粒子濃度による表面清浄度の分類