GB/T 32817-2016
半導体デバイス 微小電気機械デバイス MEMS 一般仕様書 (英語版)

規格番号

GB/T 32817-2016

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2016

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 32817-2016

範囲

この規格は、半導体で製造される微小電気機械システム (MEMS) の一般仕様を記述し、IECQ-CECC システムの品質評価の一般手順を指定し、電気的、光学的、機械的、および環境的特性の記述と試験に関する一般規則を規定します。 。 この規格は、あらゆるタイプの MEMS デバイス [センサー、高周波 MEMS など、ただし光学 MEMS、生物学的 MEMS、ミクロ総合分析システム (Micro-TAS) およびマイクロエネルギー MEMS は含まない] に適用されます。

GB/T 32817-2016 規範的参照

• GB 3100 国際単位系とその応用
• GB/T 2423.1 電気および電子製品の環境試験 パート 2: 試験方法 試験 A: 低温
• GB/T 2423.10 環境試験その2：試験方法 試験Fc：振動（正弦波）*， 2019-06-04 更新するには
• GB/T 2423.101 電気・電子製品の環境試験 パート 2: 試験方法 試験: 傾斜およびスイング
• GB/T 2423.102 電気・電子製品の環境試験 第2部 試験方法 試験：温度（低温、高温）・低圧・振動（正弦波）総合
• GB/T 2423.11 電気・電子製品の環境試験 パート 2: 試験方法 試験 Fd: 広帯域ランダム振動 -- 一般要件
• GB/T 2423.12 電気・電子製品の環境試験 第2部：試験方法 Fda試験：広帯域ランダム振動 - 高い再現性
• GB/T 2423.13 電気・電子製品の環境試験 第2部：試験方法試験 Fdb：広帯域ランダム振動～中程度の再現性
• GB/T 2423.14 電気・電子製品の環境試験その2：試験方法試験Fdc：広帯域ランダム振動-再現性が低い
• GB/T 2423.15 電気および電子製品の環境試験 パート 2: 試験方法 試験ガおよびガイドライン: 定常状態の加速
• GB/T 2423.16 環境試験パート 2: 試験方法 テスト J およびガイダンス: カビの発生*， 2022-07-11 更新するには
• GB/T 2423.17 電気および電子製品の環境試験 パート 2: 試験方法 試験 Ka: 塩水噴霧
• GB/T 2423.18 環境試験その2：試験方法 試験Kb：塩水噴霧、交互（塩化ナトリウム水溶液）*， 2021-05-21 更新するには
• GB/T 2423.19 環境試験 パート 2: 試験方法 試験 Kc: 接点および接続部の二酸化硫黄試験
• GB/T 2423.2 電気および電子製品の環境試験 パート 2: 試験方法 試験 B: 高温
• GB/T 2423.20 環境試験パート 2: 試験方法 試験 Kd: 接点および接続部の硫化水素試験
• GB/T 2423.21 電気および電子製品の環境試験 パート 2: 試験方法 試験 M: 低圧
• GB/T 2423.22 環境試験 パート 2: 試験方法 試験 N: 温度変化
• GB/T 2423.23 環境試験その2：試験方法 試験Q：シール
• GB/T 2423.24 環境試験パート 2: 試験方法 試験 S: 地上での日射量のシミュレーションと日射量試験および気候老化試験のガイドライン*， 2022-07-11 更新するには
• GB/T 2423.25 電気・電子製品の環境試験 第2部：試験方法 試験Z/AM：低温・低圧総合試験
• GB/T 2423.26 電気・電子製品の環境試験 第2部：試験方法 試験Z/BM：高温・低圧総合試験
• GB/T 2423.27 電気・電子製品の環境試験 第2部：試験方法試験 Z/AMD：低温・低圧・湿熱連続総合試験*， 2020-06-02 更新するには
• GB/T 2423.28 電気・電子製品の環境試験その2 試験方法 試験T：はんだ付け
• GB/T 2423.29 電気・電子製品の環境試験 第2部：試験方法 試験U：端子および実装部品全体の強度
• GB/T 2423.3 環境試験その2：試験方法 試験キャブ：定湿熱試験*， 2016-12-13 更新するには
• GB/T 2423.30 環境試験パート 2: 試験方法 試験 XA とガイダンス: 洗浄剤への浸漬
• GB/T 2423.31 電気・電子製品の基本的な環境試験手順 傾きおよび揺動試験方法
• GB/T 2423.32 電気および電子製品の環境試験 パート 2: 試験方法 試験 Ta: 濡れおよび秤量法によるはんだ付け性
• GB/T 2423.33 環境試験その2：試験方法 試験Kca：高濃度二酸化硫黄試験*， 2021-05-21 更新するには
• GB/T 2423.34 環境試験 第2部：試験方法試験 Z/AD：温湿度複合サイクル試験
• GB/T 2423.35 環境試験パート 2: 試験と指導 包括的な気候 (温度、湿度) および動的 (振動、衝撃) 試験*， 2019-06-04 更新するには
• GB/T 2423.36 電気・電子製品の環境試験その2 試験方法試験 Z/BFc：放熱・非放熱試験サンプルの高温・振動（正弦波）総合試験
• GB/T 2423.37 電気・電子製品の環境試験 第2部：試験方法 試験L：砂塵試験
• GB/T 2423.38 環境試験パート 2: 試験方法 試験 R: 水質試験方法とガイドライン*， 2021-05-21 更新するには
• GB/T 2423.39 環境試験パート 2: 試験方法 試験 Ee とガイダンス: バウンスを含むバルク貨物の試験*， 2018-12-28 更新するには
• GB/T 2423.4 電気・電子製品の環境試験 第2部 試験方法 test Db 交互湿熱(12h+12hサイクル)
• GB/T 2423.40 環境試験 第2部：試験方法 試験Cx：不飽和高圧蒸気定湿熱
• GB/T 2423.41 環境試験その2：試験方法 風圧
• GB/T 2423.42 電気・電子製品の環境試験における低温・低圧・振動（正弦波）総合試験法
• GB/T 2423.43 電気および電子製品の環境試験 パート 2: 試験方法 振動、衝撃および類似の動的試験サンプルの設置
• GB/T 2423.44 電気・電子製品の環境試験 第2部：試験方法 試験例：インパクトスプリングハンマー
• GB/T 2423.45 環境試験 パート 2: 試験方法 試験 Z/ABDM: 気候シーケンス
• GB/T 2423.46 電気・電子製品の環境試験 第2部：試験方法 試験Ef：衝撃振り子
• GB/T 2423.47 環境試験 第2部：試験方法 試験Fg：音響振動*， 2018-12-28 更新するには
• GB/T 2423.48 環境試験その2：試験方法試験Ff：振動時間履歴とサインビート法*， 2018-12-28 更新するには
• GB/T 2423.49 電気・電子製品の環境試験 第2部：試験方法 試験Fe：振動正弦波ビート法
• GB/T 2423.5 環境試験パート 2: 試験方法 試験 Ea とガイダンス: 影響*， 2019-05-10 更新するには
• GB/T 2423.50 環境試験パート 2: 試験方法 試験サイクル: 恒湿熱は主にコンポーネントの加速試験に使用されます。
• GB/T 2423.51 環境試験その2：試験方法試験 Ke：流通混合ガス腐食試験*， 2020-06-02 更新するには
• GB/T 2423.52 電気・電子製品の環境試験 第2部 試験方法試験77：構造強度と衝撃
• GB/T 2423.53 電気・電子製品の環境試験その2; 試験方法試験Xb: 手の摩擦によるマーキングおよび印刷文字の摩耗
• GB/T 2423.54 環境試験パート 2: 試験方法試験 Xc: 流体の汚染*， 2022-07-11 更新するには
• GB/T 2423.55 環境試験その2：試験方法 試験Eh：ハンマー試験*， 2023-09-07 更新するには
• GB/T 2423.56 環境試験パート 2: 試験方法試験 Fh: 広帯域ランダム振動とガイドライン*， 2023-09-07 更新するには
• GB/T 2423.57 電気および電子製品の環境試験 パート 2: 試験方法 試験EI: 衝撃 衝撃応答スペクトル合成
• GB/T 2423.58 電気および電子製品の環境試験、パート 2-80: 試験方法、試験 Fi: 振動、混合モード
• GB/T 2423.59 電気・電子製品の環境試験 第2部：試験方法 試験 Z/ABMFh：温度(低温、高温)/低圧/振動(ランダム)総合
• GB/T 2423.6 電気・電子製品の環境試験 Part 2; 試験方法 Test Eb とガイドライン; 衝突
• GB/T 2423.60 電気・電子製品の環境試験 第2部：試験方法 試験U：端子および実装部品全体の強度
• GB/T 2423.61 環境試験パート 2: 試験方法とガイダンス: 大型試験片の砂塵試験*， 2018-12-28 更新するには
• GB/T 2423.62 環境試験パート 2: 試験方法 テスト Fx とガイドライン: 複数入力複数出力振動*， 2018-12-28 更新するには
• GB/T 2423.63 環境試験その2：試験方法試験：温度（低温、高温）/低気圧/振動（混合モード）一体型*， 2019-05-10 更新するには
• GB/T 2423.7 環境試験その2：試験方法 試験Ec：乱暴な操作による影響（主に機器系サンプルに使用）*， 2018-12-28 更新するには
• GB/T 2423.8 電気・電子製品の環境試験パート２；試験方法試験編：フリードロップ
• GB/T 2423.9 電気・電子製品の環境試験その2 試験方法試験Cb：機器の定湿熱
• GB/T 2424.1 環境試験パート 3: サポート文書とガイダンス 低温および高温試験
• GB/T 2424.10 環境試験 大気腐食促進試験に関する一般ガイドライン
• GB/T 2424.11 環境試験パート 2: 試験方法 試験 Kc: 接点および接続部の二酸化硫黄試験のガイドライン
• GB/T 2424.12 環境試験パート 2: 試験方法 試験 Kd: 接点および接続部の硫化水素試験のガイドライン
• GB/T 2424.13 電気・電子製品の環境試験 第2部 試験方法 温度変化試験ガイドライン
• GB/T 2424.14 電気・電子製品の環境試験 第2部 試験方法 日射試験ガイドライン
• GB/T 2424.15 電気・電子製品の環境試験 総合的な温度・低圧試験のガイドライン
• GB/T 2424.17 電気・電子製品の環境試験 第 2 部: 試験方法 試験 T: はんだ付け試験ガイドライン
• GB/T 2424.18 電気および電子製品の基本的な環境試験手順 洗浄剤への浸漬試験のガイドライン
• GB/T 2424.19 保管の影響をシミュレートするための電気および電子製品の環境試験のための環境試験ガイドライン
• GB/T 2424.2 電気・電子製品の環境試験および湿度・熱試験のガイドライン
• GB/T 2424.20 電気および電子製品の基本的な環境試験手順 傾斜およびスイング試験のガイドライン
• GB/T 2424.21 電気・電子製品の基本的な環境試験手順 濡れおよび計量方法 はんだ付け性試験ガイドライン
• GB/T 2424.22 電気・電子製品の基本的な環境試験手順 温度（低温、高温）および振動（正弦波）に関する包括的な試験ガイドライン
• GB/T 2424.23 電気・電子製品の基本的な環境試験手順 水質試験ガイドライン
• GB/T 2424.24 電気・電子製品の環境試験の総合試験ガイドライン：温度（低温、高温）／低圧／振動（正弦波）
• GB/T 2424.25 電気・電子製品の環境試験 第3部：試験ガイドライン 耐震試験方法
• GB/T 2424.26 電気および電子製品の環境試験 パート 3: サポート文書とガイドライン 振動試験の選択
• GB/T 2424.27 環境試験サポート文書と温湿度試験室の不確かさ計算のガイドライン
• GB/T 2424.5 環境試験パート 3: サポート文書とガイダンス 温度試験室の性能検証*， 2021-05-21 更新するには
• GB/T 2424.6 環境試験パート 3: サポート文書とガイダンス 温度/湿度試験室の性能認定*， 2021-05-21 更新するには
• GB/T 2424.7 電気・電子製品A・Bの環境試験用温度試験室の測定（負荷あり）
• GB/T 26111 微小電気機械システム (MEMS) の専門用語*， 2023-05-23 更新するには
• GB/T 2828.1 目録抜き取り検査手順その1：合格品質限界（AQL）から探すロットごとの抜き取り検査計画
• GB/T 4728.1 電気回路図の図記号 パート 1: 一般要件*， 2018-07-13 更新するには
• GB/T 4728.10 電気図の図記号 パート 10: 電気通信: 伝送*， 2022-10-14 更新するには
• GB/T 4728.11 電気図の図記号 第 11 部：建物設置平面図*， 2022-10-14 更新するには
• GB/T 4728.12 電気回路図の図記号 パート 12: バイナリ論理要素*， 2022-10-14 更新するには
• GB/T 4728.13 電気回路図の図記号 パート 13: アナログコンポーネント*， 2022-10-14 更新するには
• GB/T 4728.2 電気図用の図記号パート 2: 記号要素、修飾記号、およびその他の一般的に使用される記号*， 2018-07-13 更新するには
• GB/T 4728.3 電気図の図記号 パート 3: 導体と接続*， 2018-07-13 更新するには
• GB/T 4728.4 電気回路図の図記号 パート 4: 基本的な受動部品*， 2018-07-13 更新するには
• GB/T 4728.5 電気回路図の図記号 第5部 半導体管と電子管*， 2018-07-13 更新するには
• GB/T 4728.6 電気回路図の図記号 第 6 部: 電気エネルギーの生成と変換*， 2022-10-14 更新するには
• GB/T 4728.7 電気回路図の図記号 パート 7: スイッチング、制御および保護装置*， 2022-10-14 更新するには
• GB/T 4728.8 電気回路図の図記号 第 8 部: 測定器、ランプ、信号装置*， 2022-10-14 更新するには
• GB/T 4728.9 電気図の図記号 パート 9: 電気通信: 交換機および周辺機器*， 2022-10-14 更新するには
• GB/T 4937 半導体デバイスの機械的および気候的試験方法
• IEC 60027 電子技術におけるリテローとユーティライザーのシンボル (エディション 4.0)
• IEC 60747-1:2006 半導体デバイス パート 1: 一般
• IEC 61193-2 品質評価システム 第 2 部：電子部品およびパッケージの検査における抜き取り検査法の選択と活用

GB/T 32817-2016 発売履歴

• 2016 GB/T 32817-2016 半導体デバイス 微小電気機械デバイス MEMS 一般仕様書