BS ISO 21820:2021
ファインセラミックス（アドバンストセラミックス、アドバンストテクニカルセラミックス） ホウ素・窒素ドープSiC結晶ポリタイプ分析のための紫外フォトルミネッセンス画像検査法

規格番号

BS ISO 21820:2021

制定年

2021

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS ISO 21820:2021

BS ISO 21820:2021 発売履歴

• 2021 BS ISO 21820:2021 ファインセラミックス（アドバンストセラミックス、アドバンストテクニカルセラミックス） ホウ素・窒素ドープSiC結晶ポリタイプ分析のための紫外フォトルミネッセンス画像検査法