ISO 14644-12:2018
クリーンルームおよび関連する管理環境パート 12: ナノ粒子濃度による空気清浄度の監視仕様

規格番号

ISO 14644-12:2018

制定年

2018

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 14644-12:2018

範囲

この文書では、浮遊ナノスケール粒子の濃度という観点から、粒子による空気清浄度のモニタリングについて説明します。 モニタリングの目的では、0.1 ミクロン (100 nm) 以下のサイズの下限を持つ粒子の集団 (「ナノスケール」) のみが考慮されます。 この文書に記載されているモニタリングは、主に「動作」状態で使用することを目的としています。 注 1 この文書では、「ナノスケール粒子」という用語を使用します。 これは、ナノスケールで 1 つ（ナノプレート）、2 つ（ナノファイバー）、または 3 つ（ナノ粒子）の次元を持つすべてのナノオブジェクトを意味します。 注 2 結果として、動作状態のクリーンルームのナノスケール粒子濃度による空気清浄度の監視仕様では、プロセスの詳細 (使用機器、人の行動など) も考慮されています。 注 3 健康と安全に関する考慮事項は、この文書からは除外されています。

ISO 14644-12:2018 発売履歴

• 2018 ISO 14644-12:2018 クリーンルームおよび関連する管理環境パート 12: ナノ粒子濃度による空気清浄度の監視仕様